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能薄膜性测试仪 HAD

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产品名称: 能薄膜性测试仪 HAD
产品型号: HAD0-70601
产品厂商: j9老哥俱乐部
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简单介绍
    

仪器由四探针测试仪和非晶硅薄膜电导率测量仪两分组成。具有测量精度,灵敏度,稳定性好,测量范围宽,结构紧凑,使用方便等点。仪器适用于半导体材料厂,半导体器件厂,科研单位,等院校对半导体材料的电阻性能的测试

能薄膜性测试仪 HAD 的详细介绍

能薄膜性测试仪型号:HAD0-70601 
仪器由四探针测试仪和非晶硅薄膜电导率测量仪两分组成。具有测量精度,灵敏度,稳定性好,测量范围宽,结构紧凑,使用方便等点。仪器适用于半导体材料厂,半导体器件厂,科研单位,等院校对半导体材料的电阻性能的测试。

四探针测试仪由主机,测试架等分组成。可以测量片状,块状,块状半导体材料的径向和轴向电阻率,测量扩散层的薄层电阻(亦称方块电阻),能材料暗电导和光电导及温度的变化的性,还可以对金属导体的低,中值电阻行测量。测试探头采用宝石导向轴套和耐磨碳化钨探针制成,故定位准确,游移率小,寿命长。

非晶硅薄膜电导率测量仪由样品室,温控系统,真空系统,阻测量系统等分组成。

1. 测量范围:电阻测量范围:1×106 1×1017Ω;

电阻率:0.001~200Ω cm;

电导率:0.005~1000s/cm;

2. 可测晶片直径:200mm×200mm;

3. 探针:碳化钨或速钢;探针间距:1± 0.01mm;

4. 针间缘电阻: ≥ 1000 MΩ; 机械游移率:≤0.3%;

5. 本底真空度: ≤10Pa,气压可控范围:10~400Pa;

衬底加热温度:室温度~200℃



 
能薄膜性测试仪能薄膜性测试仪HZDH0-70601
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