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手持式四探针测试仪
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产品名称:
手持式四探针测试仪
产品型号:
GZ-RTS-3
产品厂商:
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简单介绍
手持式四探针测试仪 四探针测试仪 型号:GZ-RTS-3 测量范围宽、精度、稳定性好、结构紧凑、易操作的手持式*; 体积仅为:185mm(长)*90mm(宽)*30mm(); 重量:350g; 使用锂电池供电,次充电可连续使用100小时; 四探针测试仪 型号:GZ-RTS-3
手持式四探针测试仪
的详细介绍
手持式四探针测试仪 四探针测试仪 型号:GZ-
RTS-3
测
量范围宽、精度、稳定性好、结构紧凑、易操作的手持式*
;
体积仅为:185
mm
(长)*90
mm
(宽)*30
mm
(); 重量:350g;
使用锂电池供电,次充电可连续使用100小时
;
RTS-3型手持式四探针测试仪
是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法家标准并参考美 A.S.T.M 标准而*的,用于测量硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻的小型仪器。
仪器采用了*新电子术行*、装配。具有能选择直观、测量取数快、精度、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等点。如有需要可加配测试台使用。
本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、等院校对半导体材料的电阻性能测试。
术 标
:
测量范围
电阻率:0.01
~1999.9Ω.cm;
方块电阻:0.1~19999Ω/□;
恒流源
电流量程分为100μA、1mA两档,两档电流连续可调
数字电压表
量程及表示形式:000.00~199.99mV; 分辨力:10μV;
输入阻抗:>1000MΩ; 精度:±0.1%;
显示:以大屏幕LCD显示读数,直观清晰;性、量程自动显示;
四探针探头基本标
间距:1±0.01mm; 针间缘电阻:≥1000MΩ; 机械游移率:≤0.3%;
探针:碳化钨或速钢Ф0.5mm; 探针压力:5~16 牛顿(总力);
四探针探头应用参数
(见探头附带的合格证)
模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87行)
1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整机测量*相对误差
(用硅标样片:0.01-180Ω.cm测试)≤±5%
整机测量标准不确定度
≤5%
外型尺寸
185mm(长)*90mm(宽)*30mm()
重量
350g
电源
锂电池,次充电可连续使用100小时;
标准使用环境
温度:23±2℃; 相对湿度:≤65%; 无频干扰; 无强光直射
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