H7130型四探针电阻率测试仪严格按照硅片电阻率测量的际标准（ASTM F84）及家标准*制，并针对目前常用的四探针电阻率测试仪存在的问题加以改。整套仪器有如下点：
1、配有双数字表：块数字表在测量显示硅片电阻率的同时，另块数字表适时监测过程中的电流变化，使操作更简便，测量更。
数字电压表量程：0—199.9mV 灵敏度：100μV 输入阻抗：1000ΜΩ
基本误差±（0.4-0.5%读数+0.1%满度）
2、可测电阻率范围：10—3 —1.9×103Ω·cm。
可测方块电阻范围：10—2 —1.9×104Ω/□。
3、设有电压表自动复零能，当四探针头1、4探针间未有测量电流流过时，电压表零，只有1、4探针接触到硅片，测量电流渡过单晶时，电压表才示2、3探针间的电压（即电阻率）值，避免空间杂散电波对测量的干扰。
4、流经硅片的测量电流由度稳定（分之五精度）的制恒流源提供，不受气候条件的影响，整机测量精度＜3%。
电流量程分五档：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。
5、仪器采用触点电阻更低（＜5mΩ）、使用寿命更长的转换开头及继电器（＞10次），在缘电阻、电流容量方面留有更大的安系数，提了测试仪的可靠性和使用寿命。
6、四探针头采用际上的红宝石轴套导向结构，使探针的游移率减小，测量重复性提
 

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