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便携式四探针测试仪
便携式四探针测试仪/四探针检测仪/电阻率检测仪 型号:HAD-TS-2
测量范围宽、精度、稳定性好、结构紧凑、易操作的便携式*
体积仅为:125mm(宽)*145mm()*245mm(深)
HAD-TS-2/TS-2A型便携式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法家标准并参考美 A.S.T.M 标准而*的,用于测量硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻的小型仪器。
仪器采用了*新电子术行*、装配。具有能选择直观、测量取数快、精度、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等点。如有需要可加配测试台使用。
本仪器广泛应用于太阳能单晶(多晶)生产厂家为硅材料的分选测试,半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、等院校对半导体材料的电阻性能测试。
术 标
:
便携式四探针测试仪按测量范围可选配
HAD-TS-2
型或
HAD-TS-2A
型,区别:测量范围不样。
HAD-TS-2
测量范围
电阻率:
0.01
~
1999.9Ω.cm
;
方块电阻:
0.1
~
19999Ω/□
;
HAD-TS-2A
测量范围
电阻率:
0.001
~
199.99Ω.cm
;
方块电阻:
0.01
~
1999.9Ω/□
;
HAD-TS-2
恒流源
电流量程分为
100μA
、
1mA
两档,各档电流连续可调
HAD-TS-2A
恒流源
电流量程分为
1mA
、
10mA
两档,各档电流连续可调
数字电压表
量程及表示形式:
000.00
~
199.99mV
;
分辨力:
10μV
;
输入阻抗:
>1000MΩ
;
精度:
±0.1%
;
显示:四位半红色发光管数字显示;性、量程自动显示;
四探针探头基本标
间距:
1±0.01mm
;
针间缘电阻:
≥1000MΩ
;
机械游移率:
≤0.3%
;
探针:碳化钨或速钢
Ф0.5mm
;
探针压力:
5
~
16
牛顿
(
总力
)
;
四探针探头应用参数
(
见探头附带的合格证
)
模拟电阻测量相对误差
(
按
JJG508-87
行
)
1Ω
、
10Ω
、
100Ω
小于等于
0.3%±1
字
整机测量*相对误差
(
用硅标样片:
0.01-180Ω.cm
测试
)≤±5%
整机测量标准不确定度
≤5%
外型尺寸
125mm(
宽
)*145mm(
)*245mm(
深
)
标准使用环境
温度:
23±2
℃
;
相对湿度:
≤65%
;
无频干扰;
无强光直射;
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